Laser-Reinigungssystem zur Reinigung von PVD-Werkzeugen kann effektiv mehrlagige Beschichtungen entfernen, keine mechanischen Schäden, keine Schäden an der Schweißnaht oder Dichtfläche, Heizzykluszeiten reduzieren, keine Umwelt- und chemischen Reagenzien, keine sekundären Schadstoffe Keine Reinigung, allgemeine Reaktion Die Kammerreinigung kann in wenigen Stunden abgeschlossen sein.
Die Laserreinigungstechnologie kann sogar die am schwierigsten zu reinigenden Dampfphasenablagerungen entfernen, einschließlich diamantartiger Kohlenstoffschichten und anderer abriebfester Beschichtungen. Die Leistung gebündelter Laser verdampft diese "kugelsicheren Beschichtungen". Letztendlich können Präzisionsmetallsubstrate sicher und ohne Beschädigung gereinigt werden und es entstehen keine Rückstände. Die Plasmakammer kann während des Reinigens manuell oder halbautomatisch einer effektiven Laserentlackung unterzogen werden.
Physikalische PVD-Dampfabscheidung bezieht sich auf den Prozess des Transfers einer Substanz oder eines Moleküls von einer Quelle auf eine Oberfläche eines Substrats durch einen physikalischen Prozess. Seine Funktion besteht darin, einige Partikel mit besonderen Eigenschaften (hohe Festigkeit, Verschleißfestigkeit, Wärmeableitung, Korrosionsbeständigkeit usw.) auf den leistungsschwächeren Mutterkörper aufzusprühen, so dass der Mutterkörper eine bessere Leistung aufweist. Bei diesem Verfahren haftet die gesprühte Lackschicht jedoch nicht nur an der Zieloberfläche, sondern sie integriert sich auch in die Oberflächen der Werkzeuge und Vorrichtungen, die zum Halten der Teile in der Reaktionskammer verwendet werden. Das Laserreinigungssystem kann die Oberfläche des PVD-Werkzeugs effektiv reinigen, wobei die nachteiligen Auswirkungen übermäßiger PVD-Beschichtungsmaterialien vermieden werden, z. B. die Verringerung der Toleranz des Werkstücks, eine schlechte Abdichtung der Reaktionskammer, was zu einer erhöhten Feuchtigkeit und einer längeren Erwärmungszeit führt.
