Wie wir alle wissen, gibt es weltweit nur einen Hersteller, der EUV-Lithografie herstellen kann, nämlich denASML der Niederlande.
Der Grund, warum es nur einen Hersteller auf der Welt gibt, liegt darin, dass ASML viele wichtige Hersteller zusammengebunden hat, wie zum Beispiel Zeiss (Zeiss), ein deutsches Optikunternehmen, Cymer (USA) undTRUMPF (Deutschland).
ASML hat diese Hersteller durch Investitionen, Übernahmen, Beteiligungen, die Einrichtung von Forschungszentren usw. an seinen Wagen gebunden, und diese Hersteller sind wahrscheinlich die einzigen Hersteller auf der Welt, die diese Produkte herstellen können, sodass dies letztendlich nur ASML auf der Welt kann EUV-Lithographie erstellen.
Doch vor kurzem verlief eine wichtige Lieferkette von ASML nach Shenzhen, China, um eine Fabrik zu bauen. Die Tochtergesellschaft in Shenzhen ließ sich im Baoan Sino-German (Europe) Industrial Demonstration Park nieder.
Dieser Hersteller ist die deutsche TRUMPF-Gruppe (TRUMPF), es ist ASMLs EUV-Lithographie, der weltweit einzige Anbieter von Laserquellen.
TRUMPF Produkte in der EUV-Lithographie, wie wichtig? Hören Sie mir zunächst zu, wie ich das Prinzip der EUV-Lithographie erkläre, Sie werden es verstehen.
Das Prinzip der EUV-Lithographie basiert vereinfacht gesagt auf drei Hauptsystemen: dem EUV-Ultraviolettlichtquellensystem, dem Objektivspiegelsystem und dem Tischsystem.
Der spezifische Prozess besteht darin, mit einem Laser extrem ultraviolettes Licht mit einer Wellenlänge von 13,5 nm anzuregen, das dann korrigiert wird, um einen kontrollierten Lichtstrahl zu erzeugen, der dann auf einen Fotomaskentisch projiziert wird, bevor er durch einen Objektivspiegel auf einen Belichtungstisch projiziert wird und schließlich in einen Schaltkreis auf einem mit Fotolack beschichteten Siliziumwafer geätzt.
Wie eines der EUV-UV-Lichtquellensysteme entsteht, indem ein Zinn (Sn)-Metalltröpfchen mit einem CO2-Laser mit 30 kW Leistung beschossen, zu einem Plasma verdampft und schließlich EUV-Licht mit einer Wellenlänge von 13,5 nm erhalten wird.
Dieser 30 kW CO2-Laser wird von TRUMPF geliefert, dem einzigen weltweit.
Unterschätzen Sie diesen CO2-Laser nicht, er besteht aus 457.329 Teilen, die Kabellänge im System beträgt bis zu 7.322 Meter und das Gewicht beträgt 17.090 kg, was eine der wichtigsten Kernkomponenten in der EUV-Lithographie darstellt.
Jetzt ist TRUMPF nach China gelaufen, um eine Fabrik zu bauen. Die Absicht ist klar, das heißt, optimistisch in Bezug auf den chinesischen Lasermarkt und noch langfristiger, optimistisch in Bezug auf den chinesischen Lithografiemarkt. Die Zukunft könnte mit China beim Aufbau der EUV-Lithografie zusammenarbeiten .
Tatsächlich gibt es bereits mehr als eine ASML-Lieferkette, die nach China fährt, um eine Fabrik zu bauen, es gibt KMWE und andere Hersteller, die ebenfalls nach China gehen, um eine Fabrik zu bauen.
Angesichts des aktuellen Trends können wir optimistisch davon ausgehen, dass es nicht mehr lange dauern wird, bis Chinas Lithografietechnologie einen großen Schritt nach vorne machen wird, und auch das Volumen der EUV-Lithografieproduktion kann Ihrer Meinung nach optimistisch sein?
