Je nach den Eigenschaften des Substratmaterials, der Genauigkeit der Substratoberfläche, der Oberflächenrauheit und den Arten von Partikelschadstoffen können die aktuellen Laserreinigungsmethoden in die folgenden zwei Kategorien eingeteilt werden.
1) Laser-Trockenreinigungsmethode. Laser bestrahlt direkt die Oberfläche des Objekts, verunreinigt die Partikel oder absorbiert Energie auf der Oberfläche und lässt die Partikel dann die Oberfläche durch thermische Diffusion, Fotozersetzung und Vergasung verlassen.
2) Laser-Nass-Reinigungsmethode. Sprühen Sie etwas unbelastete Flüssigkeit (hauptsächlich Wasser, manchmal Alkohol) auf die Oberfläche des zu reinigenden Materials und bestrahlen Sie es dann mit dem Laser. Nach der Aufnahme der Laserenergie erzeugt das flüssige Medium eine explosive Verdampfung und schiebt die Verschmutzungspartikel um es herum von der Materialoberfläche weg. Darüber hinaus wurde die sogenannte Laser-Compound-Reinigungsmethode vorgeschlagen. Die Laserenergie wird vom Substratmaterial absorbiert, und dann wird das adsorbierte Zwischenmedium durch thermische Konvektion erwärmt, und das Zwischenmedium erzeugt eine explosive Verdampfung. Angetrieben durch einen hohen Luftstrom werden die Partikel zusammen mit dem Zwischenmedium von der Substratoberfläche getrennt.
