Kürzlich gab die Forschungsgruppe Laser-Materie-Wechselwirkung des Instituts für starke Laser und Anwendungen (CELIA) der Universität Bordeaux in Frankreich bekannt, dass sie mithilfe eines Femtosekundenlasers, der im Gigahertz (GHz)-Pulszustand arbeitet, ein neues Glasmikropartikel entwickelt hat. Bohrverfahren, das in der Lage ist, nicht konische, schlanke Löcher in Glas mit glatten Innenwänden und ohne Risse im Glas zu erzeugen.
Typischerweise führt das Bohren von Löchern in Glas mit einem standardmäßigen Einzel-Femtosekunden-Impulslaser zu konischen Löchern mit endlicher Länge und rauen Innenflächen. Dieser neue Laser-Materie-Wechselwirkungsmechanismus ermöglicht das Bohren von Löchern mit hohem Aspektverhältnis direkt in einem Schritt ohne chemisches Ätzen.
Die Wahl der Laserpulsparameter ist sehr wichtig, um eine gute Mikrofabrikationsqualität zu erhalten. Der Gigahertz (GHz)-Pulsmodus von Femtosekundenlasern kann den Weg für neue Anwendungen wie die Mikroelektronik ebnen, wo Silizium-Zwischenprodukte wahrscheinlich durch Glas-Zwischenprodukte ersetzt werden.
Der Femtosekundenlaser, der mit Gigahertz-Pulsen statt mit sich wiederholenden Einzelpulsen arbeitet, ermöglicht die Wechselwirkung mit Glasmaterialien, um zwei Vorteile zu vereinen: Die Deposition der Laserenergie im Material wird über einen längeren Zeitraum verteilt, was zu einer effizienten, kontrollierbaren und gleichzeitig hervorragenden Mikrobearbeitung führt Die Qualität der Femtosekunden-Laserpulse bleibt erhalten. Der resultierende Top-Down-Schlagbohrer ergibt ein konusfreies, schlankes, rissfreies Loch mit einer glatten Innenwand.
