Der Laser zeichnet sich durch hohe Richtwirkung, Monochromatizität, hohe Kohärenz und hohe Helligkeit aus. Durch den Fokus und das Güteschalten der Linse kann die Energie in einem kleinen räumlichen Bereich und Zeitbereich konzentriert werden. Beim Laserreinigungsprozess werden hauptsächlich die folgenden Eigenschaften des Lasers ausgenutzt:
1. Laser kann eine hohe Konzentration von Energie in Zeit und Raum erreichen. Der fokussierte Laserstrahl kann mehrere tausend Grad oder sogar Zehntausende von hohen Temperaturen in der Nähe des Fokus erzeugen, so dass der Schmutz sofort verdampft, verdampft oder sich zersetzt.
2. Der Divergenzwinkel des Laserstrahls ist klein und die Richtwirkung ist gut. Der Laserstrahl kann durch das Konzentrationssystem in den Spot mit unterschiedlichen Durchmessern integriert werden. Kontrollieren Sie Laserstrahlpunkte mit unterschiedlichen Durchmessern unter den gleichen Bedingungen der Laserenergie.
3. Die Energiedichte des Lasers kann so eingestellt werden, dass sich der Schmutz durch Wärme ausdehnt. Wenn die Expansionskraft des Schmutzes größer ist als die Adsorptionskraft des Schmutzes auf dem Substrat, verlässt der Schmutz die Oberfläche des Objekts.
Daher kann die Laserreinigung nicht nur die Oberfläche des Substrats beschädigen, sondern auch die Zusammensetzung innerhalb des Substrats ändert sich nicht, was ohne Beschädigung des Substrats zutrifft.
