Klassifizierung und Methoden der Laserreinigung

Entsprechend den Eigenschaften des Substratmaterials, der Genauigkeit der Substratoberfläche, der Oberflächenrauheit und der Art der Partikelschadstoffe können die derzeitigen Laserreinigungsverfahren in die folgenden zwei Kategorien unterteilt werden. 1) Laserreinigung. Der Laser bestrahlt direkt die Oberfläche des Objekts, verunreinigt die Partikel oder absorbiert Energie auf der Oberfläche und lässt die Partikel dann durch Wärmediffusion, Photozersetzung und Vergasung die Oberfläche verlassen. 2) Laserreinigung. Sprühen Sie etwas nicht kontaminierte Flüssigkeit (hauptsächlich Wasser, manchmal Alkohol) auf die Oberfläche des zu reinigenden Materials und bestrahlen Sie es anschließend mit einem Laser. Nach dem Absorbieren der Laserenergie erzeugt das flüssige Medium eine explosive Verdampfung und drückt die umgebenden Verschmutzungspartikel von der Materialoberfläche weg. Zusätzlich wurde das sogenannte Laser-Compound-Reinigungsverfahren vorgeschlagen. Die Laserreinigung wird vom Substratmaterial absorbiert, und dann wird das adsorbierte Zwischenmedium durch thermische Konvektion erwärmt, und das Zwischenmedium erzeugt eine explosive Verdampfung. Angetrieben von einem hohen Luftstrom werden die Partikel zusammen mit dem Zwischenmedium von der Substratoberfläche getrennt.